Standard No.:	GB/T 27760-2011
English Name:	Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
Chinese Name:	利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
Chinese Classification:	N04    Basic standards and general methods
Professional Classification:	GB    National Standard
Source Content Issued by:	AQSIQ; SAC
Issued on:	2011-12-30
Implemented on:	2012-5-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF
Word Count:	8000 words
Translation Price(USD):	240.0
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本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。