Standard No.:	GB/T 45770-2025
English Name:	Surface chemical analysis—Atomic force microscopy—Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
Chinese Name:	表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序
Chinese Classification:	G04    Basic standards and general methods
Professional Classification:	GB    National Standard
ICS Classification:	71.040.40 71.040.40    Chemical analysis 71.040.40
Source Content Issued by:	SAMR; SAC
Issued on:	2025-06-30
Implemented on:	2026-1-1
Status:	to be valid
Target Language:	English
File Format:	PDF
Word Count:	14500 words
Translation Price(USD):	435.0
Delivery:	via email in 1~5 business day

本文件规定了用于表征AFM探针形状，特别是柄和近尖端轮廓的两种方法。这两种方法分别通过将AFM探针尖轮廓投影到指定平面上，或者在确定的操作条件下将探针柄的特征投影到该平面上来实现。其中，后一种方法可以给出探针用于狭窄沟槽和类似轮廓结构的深度测量时的有效性。本文件适用于半径大于5u0的探针，其中u0是用于表征探针的参考样品脊形结构宽度的不确定度。