Standard No.:	T/ICMTIA 4.1-2020
English Name:	ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate
Chinese Name:	集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
Chinese Classification:	G30    Synthetic materials in general
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
ICS Classification:	29.045 29.045    Semiconducting materials 29.045
Source Content Issued by:	ICMTIA
Issued on:	2020-12-31
Implemented on:	2021-3-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF

本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。