Standard No.:	T/ICMTIA ESG0034-2023
Chinese Name:	集成电路用混合气体 氟/氮
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
ICS Classification:	71.100.20 71.100.20    Gases for industrial application 71.100.20
Source Content Issued by:	ICMTIA
Issued on:	2023-03-01
Implemented on:	2023-4-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF

本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方法。
本文件适用于供应商自我评价、政府部门、行业组织、用户及第三方机构实施评价。其他相关评价活动可参照使用。